| 发明名称 |
WAFER CARRIER AND SEMICONDUCTOR APPARATUS FOR PROCESSING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL137533(D0) |
申请公布日期 |
2001.07.24 |
| 申请号 |
IL19990137533 |
申请日期 |
1999.02.01 |
| 申请人 |
SILICON VALLEY GROUP THERMAL SYSTEMS, LLC |
发明人 |
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| 分类号 |
B65G1/00;B65G49/07;C23C16/00;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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