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发明名称 ELECTRON SOURCE
摘要
申请公布号 IL122471(A) 申请公布日期 2001.07.24
申请号 IL19970122471 申请日期 1997.12.05
申请人 INTEVAC, INC.;THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY 发明人
分类号 H01J37/06;G03F7/20;H01J1/34;H01J3/02;H01J27/04;H01J37/073;(IPC1-7):H01J40/06 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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