| 主权项 |
1.一种用以产生输出雷射束之智慧型窄频放电雷 射,该雷射包括: A)一雷射托架; B)一雷射腔室可调整式架设于托架; C)一雷射气体容纳于腔室内部; D)二细长间隔电极容纳于腔室内部,该电极与介于 电极间的气体界定增益介质; E)一输出耦合器; F)一线窄化模组包含一棱镜束扩张器,一RMAX镜及一 可弯曲光栅界定一光栅曲率,线窄化模组及其光学 组件及输出耦合器界定一谐振腔; G)一波长计用以侦测雷射束参数包括至少脉冲能 、波长及频宽; H)一电脑控制器;以及 I)一光栅曲率定位器,由电脑控制器控制而基于波 长计供应电脑控制器的频宽资讯调整光栅曲率。2 .如申请专利范围第1项之智慧型窄频放电雷射,进 一步包含一腔室定位器单元用以于水平方向定位 腔室,使增益介质相对于谐振腔位在预定位置。3. 如申请专利范围第2项之智慧型窄频放电雷射,其 中该电脑控制器经程式规划而控制腔室定位器单 元基于来自波长计的回授资讯定位腔室。4.如申 请专利范围第1项之智慧型窄频放电雷射,其中该 棱镜束扩张器包含复数棱镜放置于棱镜板,及进一 步包含一棱镜板定位器单元用以定位其棱镜板。5 .如申请专利范围第4项之智慧型窄频放电雷射,其 中该电脑控制器经程式规划可控制棱镜板定位器 单元基于来自波长计的回授资讯定位棱镜板。6. 如申请专利范围第1项之智慧型窄频放电雷射,进 一步包含一RMAX倾斜定位器俾倾斜RMAX镜控制输出 雷射束之垂直空间参数。7.如申请专利范围第6项 之智慧型窄频放电雷射,其中该电脑控制器经程式 规划成可控制倾斜定位器而基于来自波长计的束 资讯倾斜RMAX镜。8.如申请专利范围第1项之智慧型 窄频放电雷射,其中该束扩张器系包含复数棱镜放 置于一活动棱镜板上,以及进一步包括: A)一腔室定位器单元用于基于来自电脑控制器的 控制信号定位腔室于水平方向; B)一棱镜板定位单元用于基于来自电脑控制器之 控制信号定位棱镜板; C)一RMAX倾斜定位器基于来自电脑控制器的控制信 号倾斜RMAX镜;以及 D)一RMAX枢转定位器可枢转RMAX镜基于来自电脑控制 器之控制信号来调整输出束之名目波长。9.如申 请专利范围第1项之智慧型窄频放电雷射,其中该 光栅曲率定位器包含一小进马达。10.如申请专利 范围第2项之智慧型窄频放电雷射,其中该腔室定 位器为步进马达。11.如申请专利范围第4项之智慧 型窄频放电雷射,其中该棱镜板定位器为步进马达 。12.如申请专利范围第6项之智慧型窄频放电雷射 ,其中该RMAX倾斜定位器为步进马达。13.如申请专 利范围第8项之智慧型窄频放电雷射,其中全部该 定位器皆为步进马达。图式简单说明: 第一图显示先前技术窄带雷射配置; 第二图显示本发明之较佳具体实施例; 第三图A、B及C显示光栅弯曲机构的操作原理; 第四图显示弯曲机构之透视图; 第五图显示第二图之较佳具体实施例之若干特色; 第六图A、B、C及D显示第二图之具体实施例之其他 特色; 第七图A及第七图B显示第二图之具体实施例之线 窄化模组之底视透视图; 第八图显示测量选定之束参数之光学装备。 |
