发明名称 DISPOSITIF ET PROCEDE POUR TESTER DES CIRCUITS INTEGRES A L'AIDE D'UN FAISCEAU LASER PULSE DIFFERENTIEL
摘要 <P>Ce dispositif comprend une source (60) de production d'une impulsion de lumière, un diviseur (64) que rencontre l'impulsion de lumière, qui de ce fait divisée en deux impulsions (A, B); un support pour le dispositif à semiconducteurs, un second diviseur (74), que rencontrent les impulsions (A, B) après avoir interagi avec le dispositif à semiconducteurs, ce qui a pour effet que les impulsions sont séparées spatialement, des premier et second détecteurs (D1, D2, 78, 82) agencés de manière à détecter chacun l'une des deux impulsions séparées, et un soustracteur (84) couplé aux premier et second détecteurs.Application notamment au test de circuits intégrés à semiconducteurs à l'aide de faisceaux laser.</P>
申请公布号 FR2803915(A1) 申请公布日期 2001.07.20
申请号 FR20010000299 申请日期 2001.01.11
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES INC 发明人 KASAPI STEVEN A;TSAO CHUN CHENG;SOMANI SEEMA
分类号 G01R31/26;G01N21/00;G01N21/01;G01R1/06;G01R15/24;G01R31/302;G01R31/308;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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