发明名称 Ausleger für ein Scansondenmikroskop und ein Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE4126151(C2) 申请公布日期 2001.07.19
申请号 DE19914126151 申请日期 1991.08.07
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. 发明人 TODA, AKITOSHI;TADOKORO, KAORU;NAGATA, YASUJI;SHINOHARA, ETSUO;ENOMOTO, YOSHIMITSU;TAKAYAMA, MICHIO;OHTA, RYO
分类号 G01B21/30;B81C1/00;G01B5/28;G01N27/00;G01N37/00;G01Q60/16;G01Q70/10;G01Q70/16;H01J37/28;H01L21/302;(IPC1-7):G12B21/02;G01N13/10 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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