发明名称 |
METHOD OF VACUUM DEPOSITION OF PIEZOELECTRIC FILMS OF CADMIUM SULFIDE |
摘要 |
|
申请公布号 |
US3466191(A) |
申请公布日期 |
1969.09.09 |
申请号 |
USD3466191 |
申请日期 |
1966.11.07 |
申请人 |
ARMY USA |
发明人 |
JAMES MAXWELL STINCHFIELD;HAYDEN MORRIS |
分类号 |
H01J37/34;H01L41/22;(IPC1-7):B44D1/18;C23C13/02 |
主分类号 |
H01J37/34 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|