发明名称 METHOD OF VACUUM DEPOSITION OF PIEZOELECTRIC FILMS OF CADMIUM SULFIDE
摘要
申请公布号 US3466191(A) 申请公布日期 1969.09.09
申请号 USD3466191 申请日期 1966.11.07
申请人 ARMY USA 发明人 JAMES MAXWELL STINCHFIELD;HAYDEN MORRIS
分类号 H01J37/34;H01L41/22;(IPC1-7):B44D1/18;C23C13/02 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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