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发明名称 MIKROWELLENPLASMAREAKTOR
摘要
申请公布号 DE69426463(T2) 申请公布日期 2001.07.19
申请号 DE19946026463T 申请日期 1994.05.19
申请人 APPLIED SCIENCE & TECHNOLOGY INC., WOBURN 发明人 BESEN, MATHEW M.;SEVILLANO, EVELIO;SMITH, DONALD K.
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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