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Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung für Strahlung mit einer Wellenlänge 160 nm, vorzugsweise EUV-Strahlung mit DOLLAR A - einem Spiegel mit einer Spiegeloberfläche DOLLAR A - einer Einrichtung zur Erzeugung von elastischen Schwingungen der Spiegeloberfläche aufgrund von Oberflächendeformationen, dadurch gekennzeichnet, daß DOLLAR A - auf die Außenseite der Spiegeloberfläche auftreffende Strahlung in einen vorbestimmten Winkelbereich gebeugt wird.
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