MIKROWELLENPLASMA-BEARBEITUNGSVORRICHTUNG,申请号DE19926031405T-传众专利搜索

发明名称	MIKROWELLENPLASMA-BEARBEITUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号	DE69231405(T2)	申请公布日期	2001.07.19
申请号	DE19926031405T	申请日期	1992.05.22
申请人	LAM RESEARCH CORP., FREMONT	发明人	CHEN, CHING-HWA;PIRKLE, DAVID;INOUE, TAKASHI;MIYAHARA, SHUNJI;TANAKA, MASAHIKO
分类号	H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01P7/06;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/48	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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