经分馏的线型酚醛清漆树脂和由其得到的光刻胶组合物

摘要

本发明提供了一种方法,通过分离出一种具有一致的分子量并在光刻胶组合物中具有优异性能的线型酚醛清漆树脂馏分,以生产一种经分馏的成膜线型酚醛清漆树脂。还提供了一种由该经分馏的线型酚醛清漆树脂生产光刻胶组合物的方法,以及使用该光刻胶组合物生产半导体元件的方法。

主权项

1、一种生产成膜线型酚醛清漆树脂的方法，包括：a)使甲醛与一种或多种酚类化合物在酸性催化剂的存在下缩合，从而产生线型酚醛清漆树脂缩合产物，然后除去未反应的取代酚化合物；b)向线型酚醛清漆树脂中加入光刻胶溶剂，然后加入水溶性有机极性溶剂和水，比例为，光刻胶溶剂∶水溶性有机极性溶剂∶水=1-9∶1-5∶3-7，从而形成线型酚醛清漆树脂缩合产物溶液，将该溶液分为两层-顶层溶液和底层溶液，然后除去顶层；c)向步骤b)后留下的底层溶液中加入水溶性有机极性溶剂和水，比例为，水溶性有机极性溶剂∶水=1∶10至10∶1，从而将得自步骤b)的底层溶液分为两层-顶层溶液和底层溶液，然后除去顶层；d)从步骤c)得到的底层中除去所有残余的水和水溶性有机极性溶剂，从而得到一种经分馏的成膜线型酚醛清漆树脂溶液。