发明名称 | 软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法 | ||
摘要 | 一种软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法。纳米针孔在X射线非冗余全息术中、X射线扫描显微术和X射线成象显微术以及光盘存储信息中有着重要的应用。本发明采用两种方法制作纳米针孔,一种方法是先在带有制作好小圆胶点的基片表面上镀金膜,利用圆胶点形成小孔,再用电镀法缩孔,另一种方法是利用基片表面的不平整性直接在表面上镀金膜而获得。两种方法均可制得孔径α<200纳米,孔深H>200纳米,且针孔厚度h>50纳米的纳米针孔。 | ||
申请公布号 | CN1068709C | 申请公布日期 | 2001.07.18 |
申请号 | CN97106366.4 | 申请日期 | 1997.04.08 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 张需明;王桂英;曹根娣;王之江 |
分类号 | H01L21/027;G03F1/16 | 主分类号 | H01L21/027 |
代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 李兰英 |
主权项 | 1.一种软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头,包括基片(1),基片(1)一表面上有金膜(2),基片(1)上有大孔(4),金膜(2)上有针孔(3),针孔(3)的横向孔径a<200纳米,大孔的孔径大于针孔的孔径a,其特征在于针孔(3)的孔深H>200纳米,针孔(3)的厚度h>50纳米。 | ||
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