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发明名称 Method to control a laser gas exchange device connected to a gas discharge space of a gas laser apparatus and device for carrying out this method
摘要
申请公布号 EP0926785(B1) 申请公布日期 2001.07.18
申请号 EP19970122918 申请日期 1997.12.27
申请人 TRUMPF GMBH & CO 发明人 VON BORSTEL, MICHAEL
分类号 H01S3/036;H01S3/134;(IPC1-7):H01S3/036 主分类号 H01S3/036
代理机构 代理人
主权项
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