发明名称 |
Device for detecting positional relationship between two objects |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0358511(B1) |
申请公布日期 |
2001.07.18 |
申请号 |
EP19890309094 |
申请日期 |
1989.09.07 |
申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
NOSE, NORIYUKI;ABE, NAOTO |
分类号 |
G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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