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发明名称
摘要
申请公布号	JP3189042(B2)	申请公布日期	2001.07.16
申请号	JP19970198114	申请日期	1997.07.24
申请人		发明人
分类号	C23C14/32;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/32	主分类号	C23C14/32
代理机构		代理人
主权项
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