发明名称 METHOD FOR PRODUCTION OF THREE-DIMENSIONALLY ARRANGED CONDUCTING AND CONNECTING STRUCTURES FOR VOLUMETRIC AND ENERGY FLOWS
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dreidimensional angeordneter Leit- und Verbindungsstrukturen für Volumen- und Energieströme. Dabei werden zur Erzeugung der Schichten unterschiedliche lichtaushärtende Materialien verwendet. Beim Austausch der Materialien werden auch die Schichtenbereiche mit neuem Material gefüllt, in denen bei der vorhergehenden Aushärtung keine Aushärtung stattfand, so dass bei der darauffolgenden Aushärtung nicht nur die oberste Schicht mit der darunterliegenden verbunden wird, sondern auch Material der obersten Schicht mit dem Material einer unterhalb der vorletzten Schicht liegenden Schicht verbunden wird. Damit ist es möglich, innerhalb der Schichtenfolge eine Struktur mit anderen Eigenschaften von Lage zu Lage miteinander zu verbinden.
申请公布号 WO0150198(A2) 申请公布日期 2001.07.12
申请号 WO2000DE04393 申请日期 2000.12.08
申请人 GOETZEN, REINER 发明人 GOETZEN, REINER
分类号 H01L21/268;B01J4/00;B29C67/00;G03F7/00;H01L23/538;H01P3/12;H01P11/00;H05K1/09;H05K3/00;H05K3/02;H05K3/46;(IPC1-7):G03F/ 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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