| 发明名称 | 水溶性负性光刻胶组合物 | ||
| 摘要 | 一种水溶性聚合物,当该聚合物与光致酸生成剂(PAG)一起使用时,形成负性水溶性光刻胶。该聚合物包括通过连接基团与缩醛保护的β－酮酸基团偶联的主链,如聚乙烯基醚。通过加入大量的市购光致酸生成剂,聚合物制剂形成水溶性负性光刻胶。照射曝光会造成先致酸催化缩醛基团脱保护,生成β－酮酸,该β－酮酸在加热时会发生脱羧,得到水不溶性光致产品并放出二氧化碳副产品。该光化学诱导反应导致聚合物溶解度参数明显变化,且产品不再溶于水。由于溶解度改变不需要交联,因此显影期间暴露于含水基质时不会出现刻蚀图象溶胀,因此不会降低分辨率。这使所用的光刻胶在i－线和深UV波长下具有高分辨率。 | ||
| 申请公布号 | CN1303401A | 申请公布日期 | 2001.07.11 |
| 申请号 | CN99806602.8 | 申请日期 | 1999.05.18 |
| 申请人 | 克拉里安特国际有限公司 | 发明人 | I·麦克库罗克;A·J·伊斯特;康明;R·克西安;H－N·尹 |
| 分类号 | C08F246/00;G03F7/038;G03F7/039 | 主分类号 | C08F246/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李瑛 |
| 主权项 | 1． 一种特别适合用作光刻胶的聚合物，包括如下结构：<img file="A9980660200021.GIF" wi="480" he="583" />其中R<sub>1</sub>-R<sub>4</sub>独立地为H、(C<sub>1</sub>-C<sub>5</sub>)烷基或(C<sub>1</sub>-C<sub>5</sub>)烷氧基，X为C=O、OCO、CONH、O、芳基(C<sub>1</sub>-C<sub>5</sub>)烷基。 | ||
| 地址 | 瑞士穆腾茨 | ||