滑动部件

摘要

本发明提供一种有氮化铬系保护膜的滑动部件及其制造方法。即用ＰＶＤ方法，通过使Cr和Ｎ混合的气相和基材接触，使基材上形成至少含有CrＮ的氮化铬系的保护膜，该保护膜的破断面结晶处有从基材表面向保护膜表面延伸的柱状形态，保护膜有１．５％～２０％的空位率、而且是单相的、由与滑动面平行的（１１１）面方位取向。与以前用的保护膜相比，本发明的保护膜有优越的耐摩性、耐剥离性和耐烧结性。$＃!

主权项

1．一种滑动部件，它是在基材上覆盖上至少含有CrN的氮化铬系的保护膜，其特征在于，所述保护膜的破断面的结晶有从基材表面向保护膜表面延伸的柱状形态，所述氮化铬系保护膜的空位率是1.5-20％，保护膜的厚度为1-50μm。