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发明名称 Chemical etchant for palladium
摘要
申请公布号 EP0661388(B1) 申请公布日期 2001.07.11
申请号 EP19940309195 申请日期 1994.12.09
申请人 AT&T CORP. 发明人 ABYS, JOSEPH ANTHONY;MAISANO, JOSEPH JOHN, JR.;STRASCHIL, HEINRICH KARL
分类号 C23F1/00;C23F1/44;(IPC1-7):C23F1/44;C23F1/40 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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