| 发明名称 |
LASER-EXCITED PLASMA LIGHT SOURCE, EXPOSURE APPARATUS AND ITS MANUFACTURING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1083777(A9) |
申请公布日期 |
2001.07.11 |
| 申请号 |
EP19990922588 |
申请日期 |
1999.05.31 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
OTA, KAZUYA;TANIMOTO, AKIKAZU;KONDO, HIROYUKI;KANDAKA, NORIAKI |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):H05H1/24;G21K5/00;H05G1/00;H01J35/22;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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