表面声波装置

摘要

本发明的目的在于提供一种在具有近似于36度旋转Y切割的切割角的钽酸锂基片上带有电极膜的SAW装置,该电极膜包括具有改进功率耐久性的铝单晶膜。SAW装置在一个基片上带有叉指型电极。基片由38至44度旋转Y切割钽酸锂单晶建造,每根叉指型电极包括一层钛膜和一层形成在其上的铝膜,并且铝膜是仅在选择区域电子衍射分析时产生斑点的单晶膜。

主权项

1．一种表面声波装置，在一个基片上带有叉指型电极，所述基片由38至44度旋转Y切割钽酸锂单晶建造，每根所述叉指型电极包括一层钛膜和一层形成在钛膜上的铝膜，所述铝膜是仅在选择区域电子衍射分析时产生斑点的单晶膜。