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Reticle for an object measurement system
摘要
申请公布号
GB2336729(A9)
申请公布日期
2001.07.10
申请号
GB19980008719
申请日期
1998.04.25
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
SYDNEY GEORGE CHAPMAN;ANDREW GORDON NEIL WALTER
分类号
G01B3/00;G01B11/02;H03M1/24;(IPC1-7):H03M1/22
主分类号
G01B3/00
代理机构
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