Verfahren zum Aufbringen von Schichten mit im wesentlichen gleichfoermiger Dicke auf Substrate mit unregelmaessiger Oberflaeche mittels Hochfrequenzkathodenzerstaeubung,申请号DE19691933467-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Aufbringen von Schichten mit im wesentlichen gleichfoermiger Dicke auf Substrate mit unregelmaessiger Oberflaeche mittels Hochfrequenzkathodenzerstaeubung
摘要
申请公布号	DE1933467(A1)	申请公布日期	1970.03.05
申请号	DE19691933467	申请日期	1969.07.02
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.	发明人	DIRK DAVIDSE,PIETER;SKINNER LOGAN,JOSEPH;STEARNS MADDOCKS,FRED
分类号	C23C14/40;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/285	主分类号	C23C14/40
代理机构		代理人
主权项
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