Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten nicht ebener Flächen von Gegenständen mit einem Diamantfilm

摘要

Beschrieben werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Ablagerung einer CVD Diamantschicht auf einer nicht ebenen Oberfläche eines Gegenstands 108. Die Vorrichtung umfaßt eine Ablenkeinrichtung 120 mit einer Ablenkfläche 122, welche der Beschichtung mit Diamant, der durch die diamantproduzierenden Reagentien durch die Vorrichtung erzeugt wird, widersteht und welche geeignet ist, sich auch den relativ hohen Ablagerungstemperaturen zu widersetzen. Die Ablenkeinrichtung 120 ist im wesentlichen axial in Bezug auf eine Achse eines Verteilerkopfes 102 der CVD-Vorrichtung ausgerichtet. Die Ablenkeinrichtung 120 ist vorzugsweise im wesentlichen keilförmig oder konisch und mit einem Motor 112 verbunden, welcher die Ablenkeinrichtung 120 mit einer relativ hohen Geschwindigkeit drehen kann. Ein Träger 104 kann um die oder auf einer Seite der Ablenkeinrichtung 120 angeordnet sein. Die Ablenkeinrichtung 120 ist in Bezug auf den Verteilerkopf 120 und den Träger 104 so ausgerichtet, daß ein den Verteilerkopf 102 verlassender Strahl durch die Ablenkeinrichtung 120 auf eine Oberfläche des Gegenstands 108, welcher sich auf den Träger 104 befindet, abgelenkt wird. Die Oberfläche kann nicht eben sein.