发明名称 SILICON NITRIDE FILTER AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF
摘要 <p>L'invention se rapporte à un filtre à poussières solide d'un point de vue mécanique et résistant à la chaleur, aux chocs thermiques, à la corrosion et aux acides. Elle se rapporte notamment à un filtre au nitrure de silicium convenant particulièrement en tant que filtre à particules. Un filtre au nitrure de silicium poreux, qui est composé principalement de nitrure de silicium, est produit par traitement thermique sous atmosphère d'azote. La partie compacte comporte 40 à 90 % de particules de silicium métallique ayant un diamètre moyen de particule compris entre 1 et 200 microns, et 10 à 60 % d'un agent d'expansion, la somme des particules de silicium métallique et de l'agent d'expansion représentant 95 % ou plus de la partie compacte. Ce filtre au nitrure de silicium possède un coefficient de porosité compris entre 40 et 70 %, et le volume total des pores de diamètre inférieur à 1 micron est compris entre 1 et 15 % du volume total de tous les pores.</p>
申请公布号 WO2001047833(P1) 申请公布日期 2001.07.05
申请号 JP2000009049 申请日期 2000.12.20
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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