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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Substraten
摘要
申请公布号 DE19904548(C2) 申请公布日期 2001.07.05
申请号 DE19991004548 申请日期 1999.02.04
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 LOHMUELLER, JUERGEN
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304;B08B1/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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