发明名称 Clean room atmosphere control
摘要
申请公布号 AU735428(B2) 申请公布日期 2001.07.05
申请号 AU19980070072 申请日期 1998.06.10
申请人 THE BOC GROUP PLC 发明人 STEPHEN NORMAN WALDRON
分类号 F24F3/16;F24F5/00;(IPC1-7):F24F3/16 主分类号 F24F3/16
代理机构 代理人
主权项
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