发明名称 Process for separating chlorosilanes from gas streams
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur kontinuierlichen Entfernung von Chlorsilanen aus Gasströmen, bei dem man die Gasströme in einer ersten Stufe in der Gasphase mit Wasserdampf und in einer zweiten Stufe mit einer flüssigen, wäßrigen Phase behandelt.
申请公布号 EP1112958(A1) 申请公布日期 2001.07.04
申请号 EP20000124511 申请日期 2000.11.09
申请人 DEGUSSA AG 发明人 SEILER, HARALD;BOLLENRATH, FRANZ-MICHAEL;KUZMA, MIECZYSLAW;RAULEDER, HARTWIG;KOOPMANN, CHRISTOPH
分类号 B01D53/34;B01D53/46;B01D53/68;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
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