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发明名称 METHOD FOR PATTERNING A LAYER OF A LOW DIELECTRIC CONSTANT MATERIAL
摘要
申请公布号 EP1112590(A1) 申请公布日期 2001.07.04
申请号 EP20000943287 申请日期 2000.06.28
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 LASSIG, STEPHAN, E.;MOREY, IAN, JAMES
分类号 G03F7/40;H01L21/027;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
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