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发明名称 Homogenous photoresist functionalisation
摘要
申请公布号 GB0111470(D0) 申请公布日期 2001.07.04
申请号 GB20010011470 申请日期 2001.05.10
申请人 SCIENTIFIC GENERICS LIMITED 发明人
分类号 G03F7/00;G03F7/40 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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