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发明名称
Bath system for semiconductor wafers with obliquely mounted sonic transducers
摘要
申请公布号
GB0111741(D0)
申请公布日期
2001.07.04
申请号
GB20010011741
申请日期
1999.11.03
申请人
MIRANDA, HENRY R
发明人
分类号
B08B3/12;H01L21/00
主分类号
B08B3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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