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发明名称 Hardbare samenstelling en werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker onder toepassing daarvan.
摘要
申请公布号 NL194278(B) 申请公布日期 2001.07.02
申请号 NL19920001708 申请日期 1992.10.01
申请人 TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD. 发明人 ICHIRO IGARASHI;HIROSHI SASAKI;TETSUJI JITSUMATSU;HIROYUKI OHOTA;MASANOBU SATO;HIROHUMI NISHIMUTA
分类号 C23F1/02;G03F7/027;H01J9/14;(IPC1-7):C23F1/02;C08F220/26;H01J9/20;H01J29/07 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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