| 主权项 |
1.一种激元雷射装置,包含:一个装置外壳,其内充满雷射气体;一对主放电电极,系安装在该装置外壳内,用以提供产生电子放电,而以放电式激发雷射气体以高重覆率的方式进行雷射放电;一个风扇,产生高速雷射气体气流;数个轴承,支撑该风扇上的旋转轴,而且可以让旋转轴旋转;一个马达,用以驱动该风扇;一个转速检测装置,用以检测风扇转速;以及控制装置,系根据由该转速检测装置,所测得之该风扇的转速,控制施加于该马达之至少电压和频率二者之一,以达到控制风扇的转速到某一固定的数値的目的。2.如申请专利范围第1项之激元雷射装置,其中的该转速检测装置包含:一个磁碟,其系由磁性材料所制成的,而至少设有一个切口,该磁碟是固定在该风扇上的该旋转轴上,而该磁碟系装在一个和该装置外壳相连通的密闭空间内;一个磁性物体,系安装在该装置外壳的外面,而通过中间一个筒状物,和该磁碟构成相互相对向关系,该磁性物体比该切口更狭窄,而该磁性物体至少有两个突起;以及一个线圈,系安装在该磁性物体上,当该磁碟转动时,该线圈可以感应出电动势,而藉该线圈上的感应电动势,检测该风扇的转速。3.如申请专利范围第2项之激元雷射装置,其中的该磁性物体,可以是部份,也可以全部都是由永久性磁铁所组成。4.如申请专利范围第1项之激元雷射装置,其中的该转速检测装置包含:一个气体流速感测器系安装在该装置外壳内,以检测气体的流速,而从该气体流速感测器测出的气体流速,检测出该风扇的转速。图式简单说明:第一图是传统的激元雷射装置的轴向截面图;第二图是根据本发明的具体结构所建造的激元雷射装置的轴状截面图;第三图是在第二图激元雷射装置当中,由圆圈A所圈住的部份结构的放大图;第四图显示在透磁合金(permalloy)上对氟进行抗腐蚀性试验的结果;第五图A-第五图F是当激元雷射装置内的截面气吹式风扇运转时,作为检测风扇转速的转速检测线路的状态图;第六图显示在转速检测缘路上的线圈上所产生的电动势随时间变化的曲线图;第七图是另一个根据本发明的具体结构所建造的激元雷射装置的轴状截面图;第八图显示风扇转速和气体流速之间的转换校准曲线。 |
