METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL TRANSMITTING AND RECEIVING DEVICE AND A TRANSMITTING AND RECEIVING DEVICE PRODUCED ACCORDING TO SAID METHOD

摘要

Ein Verfahren dient zum Herstellen einer optischen Sende- und Empfangseinrichtung (1, 1a) mit einem Licht emittierenden Sendeelement (3, 3a) sowie mit einem dieses Licht in eine elektrische Grösse umsetzenden Empfangselement (4, 4a), wobei das Sendeelement und das Empfangselement in ein Siliziumsubstrat eingebracht werden. Bevorzugt wird die optische Sende- und Empfangseinrichtung (1) monolithisch in ein gemeinsames Substrat mit übereinanderliegender Schichtfolge für das Licht-Sendeelement (3) und das Licht-Empfangselement (4) eingebracht. Zwischen Sendeelement und Empfangselement wird eine elektrisch isolierende Zwischenschicht (9, 9a) eingebracht.