VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ALUMINIUMOXIDFILMEN UNTER VERWENDUNG VON DIALKYLALUMINIUMALKOXID,申请号DE19966012997-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ALUMINIUMOXIDFILMEN UNTER VERWENDUNG VON DIALKYLALUMINIUMALKOXID
摘要
申请公布号	DE69612997(D1)	申请公布日期	2001.06.28
申请号	DE19966012997	申请日期	1996.12.03
申请人	KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY, DAEJEON	发明人	KIM, SOO;KOH, YONG;KU, JIN
分类号	C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
主权项
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