Mehrschicht-Antireflexionsfilm, optisches Element und Reduktionsprojektionsbelichtungsapparat,申请号DE20001080898T-传众专利搜索

发明名称	Mehrschicht-Antireflexionsfilm, optisches Element und Reduktionsprojektionsbelichtungsapparat
摘要
申请公布号	DE10080898(T1)	申请公布日期	2001.06.28
申请号	DE20001080898T	申请日期	2000.03.29
申请人	NIKON CORP., TOKIO/TOKYO	发明人	SHIRAI, TAKESHI
分类号	G02B1/11;G03F7/09;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B1/10;G03F1/14	主分类号	G02B1/11
代理机构		代理人
主权项
地址