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发明名称 AUTOMATED SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1109632(A1) 申请公布日期 2001.06.27
申请号 EP19990930722 申请日期 1999.06.25
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 DAVIS, JEFFRY, A.;MEYER, KEVIN, P.;DOLECHEK, KERT, L.
分类号 B08B3/04;B08B9/20;B08B1/02;B08B3/00;B08B7/00;B25J9/00;B25J9/16;B25J9/18;B65H1/00;G05B11/00;G05B13/00;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):B08B9/20 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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