| 主权项 |
1、一种用于光学投影系统的M×N薄膜驱动反射镜阵列，其中M和N为整数，上述阵列包括：一个有源矩阵，它含有一个基底，一个M×N晶体管阵列和一个M×N接线端阵列；一个M×N薄膜驱动结构阵列，每个驱动结构都含有第一、第二和第三驱动部分，第一、第二和第三驱动部分的结构相同，第一、第二和第三驱动部分都有一个顶面和一个底面以及一个近端和一个远端，第一、第二和第三驱动部分都至少含有一个具有顶面和底面的移动源材料薄膜层，第一、第二和第三驱动部分还都带有第一电极和第二电极，第一电极位于移动源薄膜层的顶面，第二电极位于移动源薄膜层的底面，各个驱动结构中的第一、第二和第三驱动部分的第一电极都与地连接，从而起着偏置电极的作用，各个驱动结构中的第一、第二和第三驱动部分的第二电极与相应驱动部分中的一个共同信号源相连接，从而起着信号电极的作用，其中施加在各个驱动部分的第一和第二电极之间的移动源薄膜层上的电信号造成移动源薄膜层的形变，从而造成各个驱动部分的形变；一个M×N支持单元阵列，每个支持单元用来把各自的驱动部分保持在固定位置上，其中各个驱动结构中的驱动部分的近端粘接在相应的支持单元上；一个M×N反射镜层阵列，每个反射镜层都含有一个用来反射光束的反射镜和一个支持层，每个反射镜层上有等于或大于5个的奇数个翼片部分，每个翼片部分与其相邻的翼片部分被它们之间的分割缝部分地分离，其中，第二驱动部分位于中央翼片部分的底部，第一和第三驱动部分分别位于中央翼片部分两侧的隔开一个翼片部分的翼片部分的底部，使得当各个驱动结构中的第一、第二和第三驱动部分在电信号作用下发生形变时，粘接有驱动部分的那些翼片部分发生倾斜，而包括没有粘接驱动部分的那些翼片部分在内的反射镜层的其余部分则保持平面形状，因此允许包括没有粘接驱动部分的那些翼片部分在内的反射镜层的其余部分能够反射光束。 |
