Substrate and method for inspection,申请号EP19990310179-传众专利搜索

发明名称	Substrate and method for inspection
摘要
申请公布号	EP1014096(A3)	申请公布日期	2001.06.27
申请号	EP19990310179	申请日期	1999.12.17
申请人	SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO. LTD.	发明人	MURAMATSU, SHIGETSUGU;HORIUCHI, MICHIO;KAZAMA, TAKUYA
分类号	H01L21/66;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;H05K1/00;H05K1/02;H05K1/11;H05K3/06;H05K3/32;(IPC1-7):G01R1/04	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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