| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR POINT-OF-USE ABATEMENT OF FLUOROCOMPOUNDS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1109612(A1) |
申请公布日期 |
2001.06.27 |
| 申请号 |
EP19990924546 |
申请日期 |
1999.05.28 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
ARNO, JOSE, I. |
| 分类号 |
B01D53/14;B01D53/68;B01D53/70;(IPC1-7):B01D47/00;B01D50/00;B01D53/34 |
主分类号 |
B01D53/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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