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发明名称
摘要
申请公布号 JP3180501(B2) 申请公布日期 2001.06.25
申请号 JP19930078974 申请日期 1993.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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