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发明名称
摘要
申请公布号 JP3180481(B2) 申请公布日期 2001.06.25
申请号 JP19920336646 申请日期 1992.11.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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