发明名称 PERFORATED SILICON MEMBRANE PROVIDED BY AN ELECTROCHEMICAL ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR20010052320(A) 申请公布日期 2001.06.25
申请号 KR1020007012422 申请日期 2000.11.07
申请人 发明人
分类号 C25F3/12 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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