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发明名称
HEATING A SUBSTRATE SUPPORT IN A SUBSTRATE HANDLING CHAMBER
摘要
申请公布号
KR20010053512(A)
申请公布日期
2001.06.25
申请号
KR1020017000516
申请日期
2001.01.12
申请人
发明人
分类号
C03B29/02
主分类号
C03B29/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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