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发明名称
摘要
申请公布号	JP3180729(B2)	申请公布日期	2001.06.25
申请号	JP19970223653	申请日期	1997.08.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82	主分类号	H01L21/822
代理机构		代理人
主权项
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