发明名称 METHOD OF MANUFACTURING ENHANCED FINISH SPUTTERING TARGETS
摘要
申请公布号 KR20010053325(A) 申请公布日期 2001.06.25
申请号 KR1020007015064 申请日期 2000.12.29
申请人 发明人
分类号 B44C1/22;C23C14/34 主分类号 B44C1/22
代理机构 代理人
主权项
地址