| 主权项 |
1.一种光罩与光罩之定位方法,其特征在于:从光照射部将曝光波长光照射于第1光罩之定位标记,接收第2光罩之定位标记,及通过至少在光罩侧之相反侧为远心(telecentric)之第1投影透镜及第2投影透镜而投影在第2光罩上的第1光罩之定位标记,的投影像,并对该投影像进行画像处理以检测其相对位置,运算出上述两定位标记之相对位置资料,移动第2光罩及/或第1光罩俾使该两定位标记重合。2.一种光罩与工件之定位方法,其特征在于:在除去工件之状态下,由第1光照射部照射曝光波长光于第1光罩之定位标记上,接收第2光罩之定位标记,及通过至少在工件侧为远心之第1投影透镜及第2投影透镜并投影于第2光罩上之第1光罩之定位标记,的投影像,并检测两定位标记之相对位置,根换上述两定位标记之相对位置资料,移动第2光罩及/或第1光罩俾使该两定位标记重合,令照射于上述第1光罩之定位标记上之照射光,于第1投影透镜及第2投影透镜之间分支或折返,并接收上述第1光罩之定位标记之影像,以检测、记忆其相对位置,停止来自于第1光照射部之曝光波长光之放射,令工件插入第1.第2投影透镜间之特定位置,令来自于第2光照射部之非曝光波长光照射于工件之定位标记,接收上述工件之定位标记之影像,并检测、记忆其相对位置,根据先前记忆之第1光罩之定位标记之相对位置资料,及上述工件之定位标记之相对位置资料,来移动工件俾使两者重合。3.一种光罩与工件之定位方法,其特征在于:在除去工件之状态下,由第1光照射部照射曝光波长光于第1光罩之定位标记,令照射于上述第1光罩之定位标记之照射光通过至少在工件侧为远心之第1投影透镜,使上述通过光分支为第1分支光及第2分支光,令上述第1分支光通过至少在工件侧为远心之第2投影透镜,并接收投影于第2光罩上之第1光罩之定位标记之投影像,及第2光罩之定位标记之影像,据以检测两定位标记之相对位置,使用上述第2分支光,接收上述第1光罩之定位标记之影像,并检测、记忆其相对位置,根据上述两定位标记之相对位置资料,来移动第2光罩及/或第1光罩俾使该两定位标记重合,停止来自于第1光照射部之曝光波长光之放射,令工件插入第1.第2投影透镜间之特定位置,由第2光照射部照射非曝光波长光于工件之定位标记,接收上述工件之定位标记之影像,并检测、记忆其相对位置,根据先前记忆之第1光罩之定位标记之相对位置资料,及上述工件之定位标记之相对位置资料,来移动工件俾使两者重合。4.一种光罩与光罩之定位装置,其特征为具备:第1光罩,及令该第1光罩移动之第1光罩平台移动机构;至少在光罩侧之相反侧为远心之第1投影透镜;第2光罩,及令该第2光罩移动之第2光罩平台移动机构;至少在光罩侧之相反侧为远心之第2投影透镜;令曝光波长光照射于第1光罩上之定位标记的光照射部;藉由上述光照射部所放射之曝光波长光来接收第1光罩上之定位标记之投影像之同时,接收第2光罩上之定位标记之影像,的影像接收装置;及根据上述影像接收装置接收之画像资料,来控制第1光罩平台移动机构及第2光罩平台移动机构的控制装置;上述控制装置,当上述光照射部放射曝光波长光时,系接收第2光罩之定位标记之影像,及通过第1投影透镜及第2投影透镜而投影于第2光罩上之第1光罩上之定位标记之投影像,并进行画像处理据以检出其相对位置,运算出上述两定位标记之相对位置资料,并令第2光罩及/或第1光罩移动俾使该两定位标记重合。5.一种光罩与工件之定位方法,其特征在于具备:第1光罩,及令该第1光罩移动之第1光罩平台移动机构;至少在光罩之相反侧为远心之第1投影透镜;工件,及令该工件移动工件平台移动机构;第2光罩,及令该第2光罩移动之第2光罩平台移动机构;至少在光罩之相反侧为远心之第2投影透镜;用以照射曝光波长光于第1光罩上之定位标记的第1光照射部;用以照射非曝光波长光于工件上之定位标记的第2光照射部;藉由上述第1光照射部所放散之曝光波长来接收第1光罩之定位标记之投影像之同时,接收第2光罩之定位标记之影像,的第1影像接收装置;用以使上述第1光罩之定位标记之照射光于第1投影透镜及第2投影透镜之间分支的光分支装置,或使上述照射光折返之折返装置;用以接收上述光分支装置所分支之分支光或上述光折返装置所折返之折返光之于上述第1光罩之定位标记上的投影像之同时,接收由上述第2光照射部放射之非曝光波长光之于工件上之定位标记之影像,的第2影像接收装置;及根据上述第1影像接收装置接收之画像资讯,来控制第1光罩平台移动机构及/或第2光罩平台移动机构之同时,根据上述第2影像接收装置接收之画像资讯,来控制工件平台移动机构的控制装置;上述控制装置,系于除去工件之状态下,由上述第1光照射部放射曝光波长光,接收第2光罩之定位标记,及通过第1投影透镜及第2投影透镜而投影于第2光罩上之第1光罩之定位标记之投影像,并对该投影像进行画像处理,以检测其相对位置;运算上述第2光罩之定位标记,及第1光罩之定位标记之投影像之相对位置资料,并移动第2光罩及/或第1光罩俾使两者重合;令照射放上述第1光罩之定位标记之照射光于第1投影透镜与第2投影透镜之间分支或折返,并接收分支光或折返光之于上述第1光罩之定位标记之投影像,进行画像处理,以检测、记忆其相对位置;停止来自于第1光照射部之曝光波长光之放射,并令工件插入第1.第2投影透镜间之特定位置;由第2光照射部放射非曝光波长光,并接收工件之定位标记之影像,进行画像处理以检测其相对位置;根据先前记忆之第1光罩之定位标记之相对位置资料,及上述工件之定位标记之相对位置资料,来移动工件俾使两者重合。6.一种光罩与工件之定位方法,其特征在于具备:第1光罩,及令该第1光罩移动之第1光罩平台移动机构;至少在光罩之相反侧为远心之第1投影透镜;工件,及令该工件移动之工件平台移动机构;第2光罩,及令该第2光罩移动之第2光罩平台移动机构;至少在光罩之相反侧为远心之第2投影透镜;用以照射曝光波长光于第1光罩上之定位标记的第1光照射部;用以照射非曝光波长光于工件上之定位标记的第2光照射部;藉由上述第1光照射部所放散之曝光波长来接收第1光罩之定位标记之投影像之同时,接收第2光罩之定位标记之影像,的第1影像接收装置;用以使上述第1光罩之定位标记之照射光于第1投影透镜及第2投影透镜之间分支的光分支装置;用以接收上述光分支装置所分支之分支光之于上述第1光罩之定位标记上的投影像之同时,接收由上述第2光照射部放射之非曝光波长光之于工件上之定位标记之影像,的第2影像接收装置;及根据上述第1影像接收装置接收之画像资讯,来控制第1光罩平台移动机构及/或第2光罩平台移动机构之同时,根据上述第2影像接收装置接收之画像资讯,来控制工件平台移动机构的控制装置;上述控制装置,系于除去工件之状态下,由上述第1光照射部放射曝光波长光,接收第2光罩之定位标记,及通过第1投影透镜及第2投影透镜而投影于第2光罩上之第1光罩之定位标记之投影像,并对该投影像进行画像处理,以检测其相对位置;令照射于上述第1光罩之定位标记之照射光于第1投影透镜与第2投影透镜之间分支,并接收该分支光之于上述第1光罩之定位标记之投影像,进行画像处理,以检测、记忆其相对位置;运算上述第2光罩之定位标记,及第1光罩之定位标记之投影像之相对位置资料,并移动第2光罩及/或第1光罩俾使两者重合;停止来自于第1光照射部之曝光波长光之放射,并令工件插入第1.第2投影透镜间之特定位置;由第2光照射部放射非曝光波长光,并接收工件之定位标记之影像,进行画像处理以检测其相对位置;根据先前记忆之第1光罩上之定位标记之相对位置资料,及上述工件上之定位标记之相对位置资料,来移动工件俾使两者重合。图式简单说明:第一图:本发明实施例之定位装置之构成图。第二图:使用单面远心透镜之实施例之图。第三图:本发明实施例之系统构成图。第四图:光罩与光罩间之定位时之状态图。第五图:因射束分裂器所造成之光路偏离之说明图。第六图:习知例之图示。第七图:对g线及e线两者之像差为小之投影透镜之特性图。第八图:使用具波长宽之光作为非曝光波长光时之成像位置之图。第九图:光阻剂之膜厚之偏差之表示图。第十图:干扰条纹与定位标记重合状态之表示图。 |
