主权项 |
1.一种电子元件搭载装置,其用来将收纳于元件供给部中之电子元件搭载于被搭载构件中,具有一搭载头,其可自由地以水平方式移动于上述元件供给部上方与被搭载构件上方之间、上下移动板,其设置于上述搭载头上,藉由以电动马达所驱动之螺旋轴,以上下方式来驱动、复数个空气压缸,其设置于上述上下移动板上,并具有藉由压缩流体,以上下方向来驱动之活塞杆、上下移动轴心,其安装于上述估别之活塞杆上,其将用来握持上述电子元件之握持具设置在其下端部,其特征在于:可藉由上述电动马达同时地以及藉由上述空气压缸个别地上下移动上述复数个工作握持具,并且可藉由上述电动马达与空气压缸之复合驱动来个别上下移动上述工作握持具。图式简单说明:第一图系显示出整个电子元件搭载装置之立体图;第二图系显示出沿着第一图之2-2线之剖面图;第三图系显示出沿着第一图之3-3线之剖面图;第四图系显示出沿着第一图之4-4线之剖面图;第五图系显示出第三图与第四图之搭载头之立体图;第六图系显示出第四图之重要部分之放大图;第七图系显示出沿着第六图之7-7线之剖面图;第八图系显示出沿着第六图之8-8线之剖面图;第九图系显示出沿着第六图之9-9线之剖面图;第十图系显示出沿着第九图之10-10线之剖面图;以及第十一图系显示出喷气式真空泵之内部构造之空气压电路图。 |