| 摘要 |
一种包含光固化聚合物和光敏剂的光致抗蚀组合物，其中光敏剂包含至少二种选自一群包括4,4’-二叠氮-2,2’-(1,2-二苯乙烯)二磺酸钠盐，4,4’-二叠氮-2,2’-二苯亚甲基丙酮二磺酸二钠盐，2,5-双(4-叠氮基-2-磺亚基)环戊酮二钠盐和4,4’-二叠氮-2,2’-二亚桂皮基丙酮二磺酸二钠盐。藉由采用石版印刷术使用本发明的光致抗蚀组合物，可以缩短曝光时间，藉此改良产物的产率。 |
| 主权项 |
1.一种包含光固化聚合物和光敏剂的光致抗蚀组合物,其中光敏剂包含至少二种选自一群包括4,4'-二叠氮-2,2'-(1,2-二苯乙烯)二磺酸钠盐,4,4'-二叠氮-2,2'-二苯亚甲基丙酮二磺酸二钠盐,2,5-双(4-叠氮基-2-磺亚基)环戊酮二钠盐和4,4'-二叠氮-2,2'-二亚桂皮基丙酮二磺酸二钠盐及一金属亚硝酸盐;其中该光固化聚合物系选自一群包括聚乙烯咯酮或聚(丙烯醯胺-共-二丙酮丙烯醯胺);该光敏剂含量是基于光固化聚合物重量的1-20重量%;该4,4'-二叠氮-2,2'-(1,2-二苯乙烯)二磺酸钠盐的含量是基于该光敏剂总重量的10-90重量%;该金属亚硝酸盐系选自一群包括亚硝酸钠、亚硝酸钾、亚硝酸铵和亚硝酸镁盐;该金属亚硝酸盐的含量是基于该光固化聚合物重量的0.1-20重量%。2.根据申请专利范围第1项之光致抗蚀组合物,其中该光敏剂包括4,4'-二叠氮-2,2'-(1,2-二苯乙烯)二磺酸钠盐及至少一种选自一群包括4,4'-二叠氮-2,2'-二苯亚甲基丙酮二磺酸二钠盐,2,5-双(4-叠氮基-2-磺亚基)环戊酮二钠盐和4,4'-二叠氮-2,2'-二亚桂皮基丙酮二磺酸二钠盐。图式简单说明:第一图系显示由广泛使用光敏剂而吸收之光的波峰和从汞灯照射之光的波峰。 |
