| 主权项 |
1.一种系统,用以将一工作件表面平坦化,该系统包 括具有一处理室的平坦化装置,该处理室内容纳有 :一旋转之固定台,于固定台表面配置有一研磨垫; 一研磨头,用以固定工作件于研磨垫上;及一固定 台驱动轴,该驱动轴使该固定台绕其中心转动,该 平坦化装置更包含: 1-1.一凹槽,在固定台内,位于自固定台中心沿径向 移离之位置,该凹槽在固定台内设有一底表面; 1-2.一开口,在研磨垫内,该开口位于固定台内凹槽 上方; 1-3.一光学观察口组件,位于固定台内凹槽里,该光 学观察口组件包含一支持构件部,一视窗外壳,一 视窗片,以及一光学纤维阵列,该支持构件部靠于 凹槽之底表面上并支撑该光学纤维阵列,该视窗外 壳配置于光纤阵列上方,其在光纤阵列上方并置有 一开口,该视窗外壳由固定台以至少一组螺钉支撑 ,该组螺钉可依固定台上下调整视窗外壳高度,该 视窗外壳至少有一个扣件将其锁定于固定台;及 1-4.一光纤束,自该光纤阵列沿径向朝内通往固定 台中心,再经由一固定台驱动轴通至一光耦合器。 2.一种系统,用以将一工作件表面平坦化,该系统包 括具有一处理室的平坦化装置,该处理室内容纳有 :一旋转之固定台,于固定台表面配置有一研磨垫; 一研磨头,用以固定工作件于研磨垫之表面上;及 一固定台驱动轴,该驱动轴使该固定台绕其中心转 动,该平坦化装置更包含: 2-1.一凹槽,在固定台内,自固定台中心沿径向位移, 该凹槽于固定台内有一底表面; 2-2.一开口,于研磨垫内,该开口覆盖固定台内的凹 槽; 2-3.一光学侦测组件,位于固定台内凹槽里,该光学 侦测组件包含一支持构件部,一视窗外壳,一视窗 片,即一光学纤阵列,该支撑构件靠于凹槽抵表面 上,支撑光纤阵列,该视窗外壳配置于光纤阵列上 方,其在光纤阵列上方设有一开口,该视窗外壳由 至少一组螺钉支撑安置于固定台上,该组螺钉可将 视窗外壳对固定台做上下高度调整,并至少有一扣 件将视窗外壳锁定于固定台,该光学侦测自固定台 延伸入研磨垫上的开口,而该视窗片与研磨垫表面 齐平;及 2-4.一光纤束,自该光纤阵列沿径向朝内通往固定 台之中点,再经由固定台轴至旋转光耦合器。 2-5.该旋转光耦合器与一雷射干扰仪相通,能发送 与接收雷射光束至旋转光耦合器,该雷射干扰仪设 置于处理室外部。图式简单说明: 第一图系化学机械研磨室内先前的终端侦测系统 。 第二图系安装有光学终端视窗之化学机械系统之 上视图。 第三图系安装有光学终端视窗之化学机械系统之 侧视图。 第四图系光学终端视窗和纤维束组件以及研磨桌 之正面图。 第五图系光学终端视窗之正面特写图。 第六图系固定台内光学终端视窗组件之横剖面图 。 |
