发明名称 控制稳压之螺旋式空压机空气供应系统
摘要 一种控制稳压之螺旋式空压机空气供应系统,将全自动控制螺旋式空压机加/卸载之压力检测管路,直接由无尘室供应主管线取样,用以检测供应无尘室空气之压力变化,作为控制螺旋式空压机加/卸载之依据。本创作的作用能更正确掌握到送到FAB之空气压力变化,然后快速的进行螺旋式空压机加载或卸载的控制,以供应压力稳定的压缩乾燥空气。此外当发生运转的螺旋式空压机有异常无法工作时,备载机台可以在较短的时间启动加载替换,避免在短时间的供气压力降低下,影响到无尘室内部机台运作。
申请公布号 TW443434 申请公布日期 2001.06.23
申请号 TW087208200 申请日期 1998.05.26
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 黄建溢
分类号 F04B49/00;F15B1/00 主分类号 F04B49/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种控制稳压之螺旋式空压机空气供应系统,用 以连接到一供气主管线与一供气次管线上,包括: 复数个运转螺旋式空压机,用以进行抽送一空气; 复数个备载螺旋式空压机,用以进行抽送该空气; 一补助运转螺旋式空压机,用以进行抽送该空气; 一第一空气桶,接收该些运转空压机与该备载空压 机之该空气; 一第二空气桶,接收该些辅助运转空压机之该空气 ; 一第一乾燥过滤器组,接收该第一空气桶之该空气 ; 一第二乾燥过滤器组,接收该第二空气桶之该空气 ; 一连通管路,接收该第一乾燥过滤器组与该第二乾 燥过滤器组之该空气,并连接到该供气主管线与该 供气次管线;以及 一控制螺旋式空压机加/卸载之压力取样管路,一 端连接该供气主管线,另一端连接到该些运转螺旋 式空压机、该些备载螺旋式空压机以及该辅助运 转螺旋空压机上,用以控制上述空压机之加/卸载 运作。2.如申请专利范围1项所述之控制稳压之螺 旋式空压机空气供应系统,其中该些运转螺旋式空 压机系由一电器控制螺旋式空压机与一微电脑控 制螺旋式空压机所构成。3.如申请专利范围2项所 述之控制稳压之螺旋式空压机空气供应系统,其中 该电器控制螺旋式空压机包括: 一压力开关,连接该控制螺旋式空压机加/卸载之 压力取样管路,用以检测该供气主管线之空气压力 ,并送出一控制讯号;以及 一控制电器模组,接收该控制讯号,用以控制该电 器控制螺旋式空压机处在加载状态和卸载状态二 者择一。4.如申请专利范围2项所述之控制稳压之 螺旋式空压机空气供应系统,其中该微电脑控制螺 旋式空压机包括: 一压力传送器,连接该控制螺旋式空压机加/卸载 之压力取样管路,用以检测该供气主管线之该空气 压力,并送出一压力输出讯号;以及 一微电脑,接收该压力输出讯号,用以控制该微电 脑控制螺旋式空压机在加载状态和卸载状态二者 择一。5.如申请专利范围1项所述之控制稳压之螺 旋式空压机空气供应系统,其中该些备载螺旋式空 压机系由一电器控制螺旋式空压机与一微电脑控 制螺旋式空压机所构成。6.如申请专利范围5项所 述之控制稳压之螺旋式空压机空气供应系统,其中 该电器控制螺旋式空压机包括: 一压力开关,连接该控制螺旋式空压机加/卸载之 压力取样管路,用以检测该供气主管线之该空气压 力,并送出一控制讯号;以及 一控制电器模组,接收该控制讯号,用以控制该电 器控制螺旋式空压机处在加载状态和卸载状态二 者择一。7.如申请专利范围5项所述之控制稳压之 螺旋式空压机空气供应系统,其中该微电脑控制螺 旋式空压机包括: 一压力传送器,连接该控制螺旋式空压机加/卸载 之压力取样管路,用以检测该供气主管线之该空气 压力,并送出一压力输出讯号;以及 一微电脑,接收该压力输出讯号,用以控制该微电 脑控制螺旋式空压机在加载状态和卸载状态二者 择一。8.如申请专利范围1项所述之控制稳压之螺 旋式空压机空气供应系统,其中该辅助运转螺旋式 空压机系一微电脑控制螺旋式空压机,包括: 一压力传送器,连接该控制螺旋式空压机加/卸载 之压力取样管路,用以检测该供气主管线之该空气 压力,并送出一压力输出讯号;以及 一微电脑,接收该压力输出讯号,用以控制该微电 脑控制螺旋式空压机处在加载状态和卸载状态二 者择一。9.如申请专利范围1项所述之控制稳压之 螺旋式空压机空气供应系统,其中该第一乾燥过滤 器组包括: 一前置过滤器组,接收该第一空气桶之该空气,用 以进行过滤; 一乾燥机组,接收该前置过滤之该空器,用以进行 乾燥;以及 一后置过滤器组,接收该乾燥机,用以进行过滤。10 .如申请专利范围1项所述之控制稳压之螺旋式空 压机空气供应系统,其中该第二乾燥过滤器组包括 : 一前置过滤器组,接收该第二空气桶之该空气,用 以进行过滤; 一乾燥机组,接收该前置过滤之该空器,用以进行 乾燥;以及 一后置过滤器组,接收该乾燥机,用以进行过滤。11 .如申请专利范围1项所述之控制稳压之螺旋式空 压机空气供应系统,其中该控制螺旋式空压机加/ 卸载之压力取样管路,直接在该供气主管线取样, 以适时控制该备载螺旋式空压机为加/卸载状态, 用以提供压力稳定之一压缩乾燥空气。图式简单 说明: 第一图绘示习知之螺旋式空压机加压乾燥空气供 应系统图;以及 第二图绘示依照本创作一较佳实施例的控制稳压 之螺旋式空压机空气供应系统。
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